LUPHOScan非接触三维形貌快速测量仪多波长干涉仪
luphoscan非接触三维形貌测量仪
luphoscan是基于mwli(多波长干涉)技术的非接触三维形貌扫描测量系统，它能够实现高精度、非接触的光学元件面形测量，包括测量旋转对称的各种球面、非球面、平面、自由曲面等。
测量原理
利用mwli（多波长干涉）点传感器连续测量传感器到被测件的距离。被测件放置在一个可360度旋转的平台上，两个线性平台（水平(r)及垂直(z）)用来控制mwli传感器。在标准操作模式下，传感器垂直于被测表面，同时沿着样件对应的理想的轮廓移动完成面形扫描， 由此产生的点状图即显示了可能出现的任何偏差和缺陷 从而完成了对面形的测试。
测量精度
利用参考传感器及独特的补偿系统， 实现了系统的高精度测量。通过补偿系统，实现了对测量传感器的连续定位，并补偿了r，z及t轴的机械误差。配合超高精度的mwli传感器技术，luphoscan系统保证了在整个测量区的面形精度优于50nm。
应用
luphoscan干涉仪可以用于测量旋转对称表面的面形，其坐标轴的布局允许它测量大非球面的元件及顶状元件，除此之外，还能实现对垂直表面高度的测量，甚至信号中断之后也可以继续测量。这样可以实现透射元件、金属面、抛光前后、球缺表面的测量。
技术参数
| 型号 | luphoscan+r | ||
| 测量技术 | 光纤多波长干涉技术 | ||
| 扫描模式 | 2d线性扫描 | 轮廓，等距，普通 | |
| 3d拓扑扫描 | 旋转，等距，普通 | ||
| 测量范围 | 260mm (直径)×75 mm（高度） | ||
| 精度p2v (光束入射角度<2°) | 抛光 | ra<2um | 2um≦ra≦5um |
| ±50nm | ±250nm | ±1um | |
| 纵向分辨率 | 0.1nm | ||
| 重复性rms | 3nm | ||
| 光斑大小 | 4μm | ||
| 横向分辨率(点/mm2） | (可调)0,1….2×105 | ||
| 测量时间 | 平面,ф=25mm | 120s (16 poins/mm2), 240s(100 poins/mm2 | |
| 球面ф=60mm roc=40mm | 200s(16 poins/mm2), 442s(100 poins/mm2 | ||
| 球面ф=80mm roc=80cm | 365s(16 poins/mm2), 733s(100 poins/mm2） | ||
| 非球面度 | 无限制，一般≥1000μm | ||
| Zui大测试倾斜 | 90° | ||
| Zui大测试口径 | 260mm、420mm（或更大） | ||
面形材料抛光，粗糙，镜面，透明，不透明，金属表面
面形种类（任何的旋转对称表面） 球面、非球面、平面、部分自由曲面、台阶
详情电联 1392 1392 657本产品的加工定制是否，类型是激光干涉仪，品牌是LUPHOScan，型号是LUPHOScan，品种是其他干涉仪，测量范围是260*75，测量分辨率是0.0000001mm，Zui近工作距离是10（mm）
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